用語集
Technical Terms
超精密加工（ultra precision machining）
超LSI、光学レンズ等を代表とするマイクロエレクトロニクス産業、情報機器産業等の要請による「加工精度」を実現するための先端加工技術であり、加工精度として現状のレベルは形状精度が50nm、表面粗さが10nm程度である。
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超LSI、光学レンズ等を代表とするマイクロエレクトロニクス産業、情報機器産業等の要請による「加工精度」を実現するための先端加工技術であり、加工精度として現状のレベルは形状精度が50nm、表面粗さが10nm程度である。