用語集

Technical Terms

イオン注入（ion implantation）

イオンを加速して物質内に衝突侵入させることによって、その物質の性質を制御したり、新しい材料を合成したりすること。
処理は比較的低温で行うことができ、かつ精密な制御ができるが、注入深さは加速電圧で制約され、あまり深くはできない。高周波用トランジスタのベースやエミッタを成形するのに利用される。イオン打ち込みともいう。

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