用語集
Technical Terms
ゲッタリング（gettering）
デバイス製造にあたってシリコンウエハにある種の処理を行って、欠陥や好ましくない不純物を不活性化しておくことをゲッタリングといっている。ゲッタリングによってpn接合における漏れ電流が減少し、キャリアのライフタイムが長くなるなど性能向上に役立つ。
Technical Terms
デバイス製造にあたってシリコンウエハにある種の処理を行って、欠陥や好ましくない不純物を不活性化しておくことをゲッタリングといっている。ゲッタリングによってpn接合における漏れ電流が減少し、キャリアのライフタイムが長くなるなど性能向上に役立つ。